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首先分三個部分:前段工序Array,中段Cell,后段Module(模組組裝)
1、ITO圖形的蝕刻(ITO玻璃的投入到圖檢完成)
A. ITO玻璃的投入:根據產品的要求,選擇合適的ITO玻璃裝入傳遞籃子中,要求ITO玻璃 的規格型號符合產品要求,切記ITO層面一定要向上插入籃子中。
B. 玻璃的清洗與干燥:將用清洗劑以及去離子水(DI水)等洗凈ITO玻璃,并用物理或化學的方法將ITO表面的雜質和油污洗凈,然后把水除去并干燥,保證下道工藝的加工質量。
C. 涂光刻膠:在ITO玻璃的導電層面上均勻涂上一層光刻膠,涂過光刻膠的玻璃要在一定的溫度下作預處理。
D. 前烘:在一定的溫度下將涂有光刻膠的玻璃烘烤一段時間,以使光刻膠中的溶劑揮發,增加與玻璃表面的粘附性。
E. 曝光:用紫外光(UV)通過預先制作好的電極圖形掩模版照射光刻膠表面,使被照光刻膠層發生反應,在涂有光刻膠的玻璃上覆蓋光刻掩模版在紫外燈下對光刻膠進行選擇性曝光。
F. 顯影:用顯影液處理玻璃表面,將經過光照分解的光刻膠層除去,保留未曝光部分的光刻膠層,用化學方法使受(UV)光照射部分的光刻膠溶于顯影液中,顯影后的玻璃要經過一定的溫度的堅膜處理。
G. 堅膜:將玻璃再經過一次高溫處理,使光刻膠更加堅固。
H. 蝕刻:用適當的酸刻液將無光刻膠覆蓋的ITO膜蝕掉,這樣就得到了所需要的ITO電極圖形。注:ITO玻璃為(In203與Sn02)的導電玻璃,此易與酸發生反應,而用于蝕刻掉多余的ITO,從而得到相應的拉線電極。
I. 去膜:用高濃度的堿液(Naoh溶液)作脫膜液,將玻璃上余下的光刻膠剝離掉,從而使ITO玻璃上形成與光刻掩模版完全一致的ITO圖形。
J. 清洗干燥:用高純水沖洗余下的堿液和殘留的光刻膠以及其它的雜質。
2、特殊制程:(TOP膜的涂布到固化后清洗)
一般的TN與STN產品不要求此步驟,TOP膜的涂布工藝是在光刻工藝之后再做一次Si02的涂布,以此把刻蝕區與非刻蝕區之間的溝槽填平并把電極覆蓋住,這既可以起到絕緣層的作用,又能有效地消除非顯示狀態下的電極底影,還有助于改善視角特性等等,因此大部分的高檔次產品要求有TOP涂布。
3、取向涂布(涂取向劑到清洗完成)
為在蝕刻完成的ITO玻璃表面涂覆取向層,并用特定的方法對限向層進行處理,以使液晶分子能夠在取向層表面沿特定的方向取向(排列),此步驟是液晶顯示器生產的獨有技術。
A. 涂取向劑:將有機高分子取向材料涂布在玻璃的表面,即采用選擇涂覆的方法,在ITO玻璃上適當位置涂一層均勻的取向層,同時對取向層做固化處理。(一般在顯示區)
B. 固化:通過高溫處理使取向層固化。
C. 取向摩擦:用絨布類材料以特定的方向摩擦取向層表面,以使液晶分子將來能夠沿著取向層的摩擦方向排列。如TN型號摩擦取向:45度
D. 清洗:取向摩擦后的玻璃上會留下絨布線等污染物,需要采取特殊的清洗步驟來消除污染物。
4、空盒制作:(絲網印刷到固化)
此步工藝是把兩片導電玻璃對疊,利用封接材料貼合起來并固化,制成間隙為特定厚度的玻璃盒,制盒技術是制造液晶顯示器的關鍵技術之一。(需要嚴格控制液晶盒的間距)
A. 絲印邊框及銀點:將封接材料(封框膠)用絲網印刷的方法,分別對板印上邊框膠和下板玻璃印導電膠。
B. 噴襯墊料:在下玻璃上均勻分布支撐材料。將一定尺寸的襯墊料(一般為幾個微米)均勻分散在玻璃表面,制盒時就靠這些材料保證玻璃之間的間距即盒厚。
C. 對位壓合:按對位標記上與下玻璃對位粘合,將對應的兩片玻璃面對面用封接材料粘合起來。
D. 固化:在高溫下使封接材料固化。固化時一般在上下玻璃上加上一定的壓力,以使液晶盒間距厚度保持均勻。
中段的Cell制程:是以前段Array的玻璃為基板,與彩色濾光片的玻璃基板結合,并在兩片玻璃基板間灌入液晶(LC)
后段工序Module(模組組裝):將Cell工序加工完成后的面板與TAB、PCB、背光(BackLight)模組、外框等多種周邊零部件進行組裝。
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